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二、技術規格(ge)及參數

   測試量程：

VMSE2010:200*100*200mm  重量：170kg

VMSE3020:300*200*200mm  重量：230kg

          VMSE4030:400*300*200mm  重(zhong)量：330kg

VMSE5040:500*400*200mm  重量：430kg

玻璃臺(tai)承重(zhong)：15kg

X/Y軸精度（um）：≤3+L/200（L為被測長度單位mm）

Z軸精度（um）：≤3+L/100（L為被測長(chang)度單位mm）

物鏡(jing)焦距：82mm

最(zui)小顯示值(zhi)：0.1um

物鏡(jing)倍(bei)率(lv)：0.7-4.5X

顯示器綜(zong)合(he)放(fang)大倍率（23寸）：約37-237X（可加配2X物鏡，或0.5X目鏡）

控制系統：CNC閉環控制系統

光源系統(手動)：表面光源與透射光源均用LED，亮度可調

操作系統(tong)：WIN7/WIN10

主機材質(zhi)：采(cai)用00級天然大理石（分體式）

電腦(nao)：專用(yong)電腦(nao)

軟件：INSPEC 2D

光柵(zha)尺：金屬光柵(zha)尺1.0um

導(dao)軌：高精度交叉導(dao)軌

CCD相(xiang)機(ji)：80W像素模擬(ni)相(xiang)機(ji)

激光(guang)筆：點紅(hong)光(guang)（測(ce)量時找樣品位置用）

選(xuan)配件：Z軸探針、同軸光。